Entegris過濾器 Wafergard®II SF 3XP
Entegris是材料完整性管理的*。該公司提供技術(shù)，產(chǎn)品和服務(wù)解決方案，凈化，保護(hù)和運(yùn)輸半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)中使用的關(guān)鍵材料。這些解決方案在制造和服務(wù)，并在美國，中國，法國，德國，日本，馬來西亞，新加坡，韓國和中國臺灣提供支持。Entegris獲得ISO 9001認(rèn)證。
Entegris公司主要產(chǎn)品：Entegris過濾器。
Entegris有*的承諾質(zhì)量的傳統(tǒng)。Entegris為獲得ISO 9001：2000認(rèn)證，Entegris的質(zhì)量管理體系的基礎(chǔ)以及ISO 14001認(rèn)證感到自豪。此外，Entegris聘用許多其他質(zhì)量工具，流程，控制和政策 - 所有開發(fā)，以滿足苛刻的需求Entegris的流程和Entegris的客戶的*需求。ISO 9001認(rèn)證承諾客戶滿意度的組織自愿追求Entegris的設(shè)計，制造和服務(wù)流程的質(zhì)量。它驗證Entegris的產(chǎn)品和服務(wù)是用符合標(biāo)準(zhǔn)的書面質(zhì)量控制程序生產(chǎn)的。
Entegris過濾器
當(dāng)涉及空氣，散裝氣體或規(guī)格氣體的過濾和凈化時，Entegris擁有專業(yè)知識，技術(shù)和解決方案，以滿足您的需求。無論是使用點還是散裝氣體輸送，在室內(nèi)還是在晶片上，在潔凈室或工具上，Entegris都有提供高性能氣體和空氣凈化和過濾產(chǎn)品以滿足您的需求的悠久歷史。
Entegris超純氣體過濾產(chǎn)品為超純氣體應(yīng)用提供0.003微米顆粒過濾。Wafergard®氣體過濾器可實現(xiàn)更高的工藝氣體通量，同時減少整個氣體盒的占地面積。
用于超高純度（UHP），高流量氣體管線的Wafergard®II SF 3XP迷你在線氣體過濾器均為316L不銹鋼收縮管，設(shè)計流量比同類過濾器高三倍，高于三位數(shù)。設(shè)計用于高達(dá)500 SLPM的中等流速，*過濾UHP高流量應(yīng)用，如擴(kuò)散，退火，外延工具和連接。
Entegris過濾器。
產(chǎn)品參數(shù)：
長度
84 mm（3.31“） 94 mm（3.70“） 126.9 mm（5.00“） 133.5 mm（5.26“）
zui大流量
200 slpm
處理
散裝氣體輸送 光刻 沉積 干蝕刻 離子植入
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲 LED。
產(chǎn)品型號：Wafergard®II SF 3XP、Wafergard®II SF Half、Wafergard®SF、Wafergard®II SF 3XP Mini XL、Wafergard®SF Micro XL、Unigard™、Gasketgard®。
Entegris公司主要產(chǎn)品：Entegris過濾器。
Entegris過濾器。
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