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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市中圖儀器股份有限公司


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白光干涉輪廓儀

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參   考   價: 960000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SuperView W1

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:羅健查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-09-22 14:44:03瀏覽次數(shù):303次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:200條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:羅健 (網(wǎng)絡(luò)推廣)

產(chǎn)品簡介

SuperViewW1白光干涉輪廓儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

詳細介紹

SuperViewW1白光干涉輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。如在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域,測光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

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產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例:

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性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

2)隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性;

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

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SuperViewW1白光干涉輪廓儀通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。


部分技術(shù)指標


型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
臺階測量
可測樣品反射率0.05%~100
主機尺寸700×606×920㎜


如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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